真空阀有哪些类型？该如何选型？

真空阀和其他阀门一样，使用一些基本的力学原理，如闸阀、挡板盘或旋转盘来分离或隔离真空区域并控制体积流量。

然而，使用这些力学原理的基本条件是完全不同的，例如，高自由度的颗粒，精确控制非常小的体积流动、密封，以及最小的振动和冲击等，这使得真空阀设计类型多样得不同。

目前真空阀有以下基本类型：

真空闸阀 ——通常是隔离或较简单的控制应用的理想选择。安装深度很窄，传导性最大（流阻最小），但闸门的行程空间需要。

真空角阀 ——尺寸非常紧凑，通常在密封、执行器和传感器方面非常模块化。平均电导率，非常容易维护。

真空蝶阀——主要用于控制应用。非常窄的安装深度，良好的传导性，快速和精确的可控性。

真空摆阀—— 非常窄的安装深度和紧凑的尺寸，结合非常精确的控制行为，非常好的绝缘能力和非常高的传导性。

对称流真空调节阀 ——特殊类型，优化了从第一个开口到整个阀门开口的非常均匀的流动行为。

气体计量阀或漏气阀——适用于非常精细的计量，例如，低流量的工艺气体的计量。

泄压阀或排气阀 ——允许真空系统受控（通常是完全）通风并防止超出规定压力条件的安全阀。

真空止回阀——被动式，体积流量和压差操作的阀门。通常用于保护真空系统免受倒流污染。例如用于真空回流泵和真空系统之间。

快速闭合阀——主动式保护阀，通常保护较大的真空体积或真空室不因泄漏而造成真空损失，对检测到的压力下降有非常快的关闭反应。

真空全金属阀——专为极端压力、温度和辐射条件设计的一组真空阀，硬对硬（金属对金属）的密封，而不是弹性密封。

真空多阀装置——特殊类型的真空阀，将几种真空阀的功能结合在一个单元中，主要特点是减少部件数量，装配速度快。

三位真空阀——真空隔离阀的特殊形式，除了关闭和打开的位置外，还可以定义第三个阀位。一种应用是为了避免在高压差时由于阀门打开过快而产生的压力脉冲。

除了这些基本类型，还有大量的混合变体，其中一些结合了不同的阀门技术或为某些特殊要求提供解决方案。