Pentagon Technologies是一家为半导体、制药、微电子和太阳能行业提供任务关键型制造支持服务、污染检测和保护产品的领先供应商。Pentagon Technologies监控、认证和提高晶圆厂及其工艺工具的清洁度。其服务包括洁净室协议和认证、协议监控、持续清洁、工具验收、设备前端模块(EFEM)认证、NEBB认证以及整个晶圆厂生命周期的其他服务。Pentagon Technologies提供各种专有的表面颗粒检测产品,可确定关键表面的清洁度,并提供颗粒防护产品,可提高关键生产区域的清洁度,从而减少工具停机时间,提高产量,并节省客户的时间和金钱。
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探测器
半导体、制药、微电子、太阳能行业
QIII ST(0.1) Surface Particle Detector